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什么是光刻掩模板
在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精i确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性---的一种结构,称为光刻掩模版。
半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套(几块多至十几块)相互间能精i确套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。
分划板一般安装在望远镜的右目镜焦平面上,它是一块极簿的表面刻有分划密位线的薄玻璃,由于这块薄玻璃理论上讲也参与了成像,延长了物镜的焦距,会对右目镜的长度有或多或少的影响。
分划板对洁净度要求---,任何微小的灰尘都会在观测时产生很大的黑点,同时分划板的安装位置精度要求---,视觉标定板,因此,分辨率板,尽量不要拆卸,如果拆卸,盘锦板,一定要按原样复原。
视觉系统有---使用标定板吗?
到底视觉系统有没有---做标定呢,的定位、测量系统都需要先对成像系统进行标定。以提高系统的精度。任何镜头(不论是否为远心镜头)都存在这一定的畸变。除了常见的“桶形”与“枕形”畸变外,工业相机的安装角度或者工业相机和工业镜头的光轴不完全重合也会造成“梯形”畸变。
比如国外远心镜头厂商给出的光学畸变指标是0.1%,如果拍摄100mm的图片,玻璃分划板厂家,则在图像边缘区域可能产生0.1mm的误差。0.1mmd 误差对于的系统是无法容忍的,而采用标定板对系统校准,可以将这种误差消除。所以的视觉系统非常有---做标定。
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